雙瓶特氣柜(Gas Cabinet)

名稱：雙瓶特氣柜

規格：雙工藝氣瓶，全自動

型號：HSPGC150206 

■ 特氣柜尺寸：W850寬×D500深×H1800高 

■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR接口 

■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口 

■ 氣動隔膜閥：CDA驅動，1/4"卡套接口 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口 

■ 工藝氣體出口：2個，1/4"MVCR接口 

■ 盤面規格：1/4"盤面

■ 標準配備：自動切換，防爆防腐柜體，防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報警，遠程切斷，欠壓報警，主材SS316L

■ 柜體換氣量:OD100mm排氣口，SiH4-1200次/小時，其余300次/小時 

■ 控制柜尺寸：W850寬×D230深×H320高 

■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保護

■ 操作界面：7"彩色觸摸屏

■ 選配：工藝氣瓶重量監控器，工藝氣體超壓報警，盤面加熱及溫控裝置，報警信號手機短信與電話通知 

適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，體現于芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。