名稱：氣體混配柜

　　規格：九進一出

　　型號：HSPGB190609

　　柜體尺寸：W550寬×D400深×H850高

　　流量控制：質量流量計程序控制

　　工藝氣進口：9個，1/4"MVCR接口

　　工藝氣出口：1個，1/4"MVCR接口

　　箱體排氣孔：1個，3"

　　盤面規格：1/4"盤面

　　標準配備：防腐機械柜，壓力表，質量流量計，當地流量控制

　　氣動隔膜閥：CDA驅動，1/4"卡套接口

　　控制柜電源：220VAC，50HZ，100W，漏電保護

　　操作界面：外接電腦顯示屏

　　選配：遠程流量監控，流量實時調整，壓力遠程監控，低壓報警

　　適用范圍：適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。