大宗氣體工程

　　大宗氣體：

　　集成電路芯片廠中所使用的氣體按用量大小可以分為二種：用量大的稱為大宗氣體(Bulk gas)，用量較小的稱為特種氣體(Specialty gas)。

　　大宗氣體通常有：氮氣、氧氣、氫氣、氬氣、氦氣等，其中最常見常用的為氮氣。

　　大宗氣體工程即集中供氣系統工程，分為氣源部分，輸送管道部分，終端配置設備部分。

      集中供氣系統工程組成

　　氣源部分：儲氣裝置有GC/GR，混流排、單瓶或雙瓶多瓶面板等，根據氣體的不同性質來選擇，如腐蝕有毒易燃易爆特氣則用GC，普通惰性氣體用GR。

　　管路部分：不同性質氣體用不同材質，如特氣為雙套管，用EP級不銹鋼管作內管，外管為BA級不銹鋼管，普氣則選用BA級不銹鋼管。

　　終端部分：VMB/VMP、單面板。根據不同氣體性質選擇，如特氣選用VMB，普氣選用VMP。

　　大宗氣體工程設計施工要求：

　　1.管件的選擇，業內多數使用SUS316不銹鋼材質管，而該類管的拋光等級上卻有不同，然而不同的氣體對管件有著不同的要求，易燃易爆及毒腐氣體對管件要求比較高，普通電子氣體的要求則相對較低。

　　2.閥門組件選擇，不同的閥門有著不同的密封性，其制作工藝上也有很大的區別。對于危險性氣體要選用密封線較高的閥門。

　　3.減壓設備選擇，減壓設備要嚴格根據氣體輸送壓力來選擇，減壓范圍要合理，使其壓力變更更加精確。

　　4.氣路泄漏偵測是整個工程必不可缺少的部分，部分危險氣體泄漏后危險性極大，所以在安全方面必須有著極為嚴格的要求!

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